Подробное описание документа
Диссертация
Чжо Янян
Размерная обработка керамических подложек на электронно-лучевой установке "Луч" : 2.2.3 Технология и оборудование для производства материалов и приборов электронной техники : дис... ктн / Чжо Янян ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - Москва, 2023. - 161 л. : ил. - Библиогр.:
