Подробное описание документа

Лотков Е. С.
   Разработка и исследование методов создания электрооптического модулятора с низкими потерями для фотонных интегральных схем : 2.2.3 Технология и оборудование для производства материалов и приборов электронной техники : дис... ктн / Лотков Е. С. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2024. - 130 л. : ил. - Библиогр.: л.117-130.

library.bmstu.ru/Catalog/Details/580640

https://library.bmstu.ru/Catalog/Details…