Подробное описание документа

Баклыков Д. А.
   Исследование и разработка физико-технологических методов создания оптических микроэлектромеханических систем : 2.2.3 Технология и оборудование для производства материалов и приборов электронной техники : дис... ктн / Баклыков Д. А. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - Москва, 2024. - 171 л. : ил. - Библиогр.: л.151-171.

library.bmstu.ru/Catalog/Details/582512

https://library.bmstu.ru/Catalog/Details…