Подробное описание документа

Баклыков Д. А.
   Исследование и разработка физико-технологических методов создания оптических микроэлектромеханических систем : 2.2.3 Технология и оборудование для производства материалов и приборов электронной техники : автореф. дис... ктн / Баклыков Д. А. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - Москва, 2024. - 17 с. : ил. - Библиогр.: с.16-17.

library.bmstu.ru/Catalog/Details/582513

https://library.bmstu.ru/Catalog/Details…