Подробное описание документа

Зикий Е. В.
   Исследование и разработка технологии формирования базовых слоёв сверхпроводниковых интегральных схем на основе тантала и ниобия : 2. 2. 3-Технология и оборудование для производства материалов и приборов электронной техники : дис... ктн / Зикий Е. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2025. - 127 л. : ил.

library.bmstu.ru/Catalog/Details/588866

https://library.bmstu.ru/Catalog/Details…