Личный кабинет
Подробное описание документа
Автореферат диссертации
Зикий Е. В.
Исследование и разработка технологии формирования базовых слоёв сверхпроводниковых интегральных схем на основе тантала и ниобия : 2. 2. 3-Технология и оборудование для производства материалов и приборов электронной техники : автореф. дис... ктн / Зикий Е. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2025. - 15 с. : ил. - Библиогр.:
