Личный кабинет
Подробное описание документа
Автореферат диссертации
Зикий Е. В.
Исследование и разработка технологии формирования базовых слоёв сверхпроводниковых интегральных схем на основе тантала и ниобия : 2.2.3 Технология и оборудование для производства материалов и приборов электронной техники : автореф. дис... ктн / Зикий Е. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - Москва, 2025. - 15 с. : ил. - Библиогр.:
