Подробное описание документа
Диссертация
Манегин Д. С.
Исследование параметров плазмы и выходного ионного потока бессеточных ионных источников для ионно-плазменной обработки поверхности : 1.1.9 Механика жидкости, газа и плазмы : дис... ктн / Манегин Д. С. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2025. - 149 л. : ил. - Библиогр.:
