Личный кабинет
Подробное описание документа
Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Интегральные схемы : учебник для вузов / Иванов В. И., Лучников П. А., Сигов А. С. [и др.] ; ред. Гуляев Ю. В. - Москва : Юрайт, 2025. - 460 с. : ил. - (Высшее образование). - Библиогр.:
Книга посвящена рассмотрению широкого круга физических принципов, определяющих технологические процессы изготовления интегральных схем радиоэлектронной аппаратуры — технологии получения кремниевых пластин, их оксидирования, диффузии, ионного легирования, литографии, сухого травления, сборки и герметизации готовых микроприборов. Также рассмотрены процессы формирования тонких плёнок различными технологическими методами. Приведены основные схемы технологического оборудования и оснастки. Учебник предназначен для студентов вузов, обучающихся по специальностям «Проектирование и технология электронных устройств», «Проектирование и технология радиоэлектронных средств», «Конструирование и технология радиоэлектронных средств» и «Микроэлектроника», может быть полезным для студентов других специальностей и специалистов в области радиотехники.
