Подробное описание документа
Деулин Е. А.
Инженерная вакуумная техника : учебное пособие / Деулин Е. А., Басманов М. С. - М. ; Вологда : Инфра-Инженерия, 2025. - 294 с. : ил. - Библиогр.:
Изложены основные положения физики вакуума, описание и принципы работы элементов вакуумного оборудования (вакуумных насосов, манометров, фланцев, электрических и механических вводов в вакуум и др.), работающих в высоком и сверхвысоком вакууме. Приведено описание лабораторных работ по практическому освоению вакуумной техники.
Для студентов и инженеров, связанных с вакуумной техникой.
