Личный кабинет
Подробное описание документа
Шахаев Б. М.
Контроль дефектности диэлектрических пленок ИМС с использованием термочувствительного порошка / Шахаев Б. М., Андреев В. В. // Наукоёмкие технологии в приборо- и машиностроении и развитие инновационной деятельности в вузе : материалы Всероссийской научно-технической конференции, Калуга, 19 - 21 ноября 2024 г. : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана. - 2025. - Т. 1. -
Разработан метод контроля дефектности диэлектрических пленок микросхем, вышедших из строя в процессе эксплуатации, основанный на контроле поверхности кристалла путем нанесения на нее термочувствительного порошка. Проведена апробация метода при анализе дефектности диэлектрических пленок на кристаллах КМДП-ИМС. Показано, что предложенный метод позволяет локализировать место дефектов на поверхности кристалла ИМС Ключевые слова: анализ диэлектрических пленок, пробой ИМС, термочувствительный порошок
