Личный кабинет
Подробное описание документа
Перевозчикова Д. С.
Сравнительный анализ качества топологического рельефа кристалла микросхемы методами контактной и проекционной фотолитографии / Перевозчикова Д. С., Андреев В. В. // Наукоёмкие технологии в приборо- и машиностроении и развитие инновационной деятельности в вузе : материалы Всероссийской научно-технической конференции, Калуга, 19 - 21 ноября 2024 г. : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана. - 2025. - Т. 1. -
Проанализированы особенности проведения фотолитографических процессов методами контактной и проекционной фотолитографии. Исследован процесс создания топологического рельефа методами контактной и проекционной фотолитографии, выявлены преимущества и недостатки. Проведено сравнение методов контактной и проекционной фотолитографии в условиях производства интегральных микросхем. Ключевые слова: фотолитография, проекционная фотолитография, контактная фотолитография
