Личный кабинет
Подробное описание документа
Лысенко Г. А.
Современный интерференционный эллипсометр / Лысенко Г. А., Печкин Д. Ю., Погодаев В. В. // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение. - 1999. - № 3. -
Предложена структурная схема современного интерференционного эллипсометра. Проведен анализ составляющих погрешности измерения разности фаз между интерференционными сигналами и получены зависимости, позволяющие: вычислить погрешность при заданных технических характеристиках и режиме работы узлов эллипсометра; оптимизировать режим работы узлов эллипсометра с целью достижения минимальной погрешности; определить требуемые технические характеристики и режим работы узлов эллипсометра для достижения заданной погрешности. Приведены результаты экспериментов, подтверждающие полученные зависимости.
