Личный кабинет
Подробное описание документа
Статья в журнале
Применение абразивно-экструзионной обработки при геттерировании кремниевых пластин / Соленов В. И., Назаров Н. Г., Соленов Д. В., Хошафян Д. С. // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение. - 2001. - № 3. -
Исследован один из способов механического геттерирования кремниевых пластин - абразивно-экструзионная обработка. Результаты исследования позволяют сделать вывод, что экструзия абразивной пасты создает равномерное напряженное состояние по всей поверхности обрабатываемой пластины. Таким образом, возможно применение этого способа в качестве альтернативного метода геттерирования кремниевых пластин.
