Личный кабинет
Подробное описание документа
Статья в журнале
Образцов Д. В.
Активный технологический контроль синтеза тонких пленок при производстве сверхбольших интегральных схем / Образцов Д. В., Чернышов В. Н., Шахнов В. А. - DOI 10.18698/0236-3933-2017-6-17-27 // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение. - 2017. - № 6. -
Рассмотрен метод активного технологического контроля электрофизических параметров тонких пленок, используемый при производстве сверхбольших интегральных схем. Приведен алгоритм реализации этого метода в целях достижения минимально допустимых отклонений параметров пленок, что позволяет производить такие схемы по более прогрессивным проектным нормам
