Герб МГТУ им. Н.Э. БауманаНаучно-техническая библиотека МГТУ им. Н.Э. Баумана
Калужский филиал
Личный кабинет
Расширенный поиск по каталогам
Поиск электронных учебников

Подробное описание документа

   Статья в журнале

Голубенко Ю. В., Богданов А. В.
   Некоторые аспекты применения ультрафиолетового лазерного излучения в технологиях микроэлектроники / Голубенко Ю. В., Богданов А. В. - DOI 10.18698/2308-6033-2012-6-238 // Инженерный журнал: наука и инновации. - 2012. - № 6. - П.Н. 16.

library.bmstu.ru/Catalog/Details/598678

Рассмотрены возможности применения ультрафиолетового лазерного излучения в технологиях микроэлектроники.

НТБ МГТУ им. Н.Э. Баумана
© НТБ МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2003 – 2026
© МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2003 – 2026

Используя сайт Библиотеки МГТУ им. Н. Э. Баумана, Вы соглашаетесь с использованием технических файлов (cookie) и сервисов сбора и анализа статистики посещений для обеспечения работоспособности сайта и улучшения качества обслуживания. Подробнее о технических файлах (cookie).