Личный кабинет
Подробное описание документа
Применение нанотехнологических методов для изготовления пластины маятникового акселерометра / Сагателян Г. Р., Новосёлов К. Л., Шишлов А. В., Щукин С. А. - DOI 10.18698/2308-6033-2013-6-805 // Инженерный журнал: наука и инновации. - 2013. - № 6. -
Рассмотрены вопросы нанотехнологического обеспечения показателей качества пластин маятниковых акселерометров. Обосновано применение двухсторонней доводки связанным абразивом для обеспечения требуемой плоско-параллельности пластин. Показана возможность формирования выступов и впадин, предусмотренных конструкцией пластины, методом плазмохимического травления. Предложена методика обеспечения равномерной толщины тонкопленочных покрытий, применяемых в качестве маски при плазмохимическом травлении.
