Личный кабинет
Подробное описание документа
Статья в журнале
Метод измерения распределения толщин ITO-покрытий с помощью акустооптического видеоспектрометра / Перчик А. В., Толстогузов В. Л., Стасенко К. В., Цепулин В. Г. - DOI 10.18698/2308-6033-2013-9-915 // Инженерный журнал: наука и инновации. - 2013. - № 9. -
Описан принцип работы акустооптического спектрометра изображений и методика определения с его помощью распределения толщины тонких пленочных покрытий.
