Личный кабинет
Подробное описание документа
Панфилова Е. В.
Разработка процесса получения коллоидного монослоя полистирола для технологии микросферной литографии / Панфилова Е. В., Нгуен Тхи Хонг Хань, Дюбанов В. А. - DOI 10.18698/2308-6033-2020-10-2026 // Инженерный журнал: наука и инновации. - 2020. - № 10. -
В работе представлена играющая ключевую роль в технологии микросферной литографии операция осаждения монослоя микросфер полистирола из коллоидной суспензии, реализуемая на основе метода Ленгмюра — Блоджетт. Представлено лабораторное оборудование, разработанное для получения упорядоченных коллоидных пленок и монослоев. Определены основные режимы процесса. Приведены результаты исследования поверхностей образцов на атомно-силовом микроскопе. Выявлено, что полученные пленки представляют собой плотноупакованные в соответствии с гексагональной симметрией монослои микросфер, которые пригодны для использования в качестве темплатов. С их помощью методом микросферной литографии можно получать регулярные массивы наночастиц заданного размера для изделий фотоники, сенсорики и наноэлектроники.
