Личный кабинет
Подробное описание документа
Импульсная имплантация ионов при лазерной абляции материалов / Кошманов В. Е., Смирнов А. Л., Фоминский В. Ю., Смирнов Н. И., Неволин В. Н. // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Машиностроение. - 2003. - № 2. -
Исследованы возможности новой методики имплантации высокоэнергетичных ионов из импульсной плазмы, инициируемой наносекундными лазерными импульсами в окружении обрабатываемой поверхности. Для ускорения ионов используются высоковольтные импульсы напряжения, подключаемого к обрабатываемой подложке во время подлета эрозионного факела от облучаемой лазером мишени. Установлена зависимость энергетического спектра имплантируемых ионов от параметров лазерной плазмы, а также режимов включения лазерных и высоковольтных импульсов.
