Личный кабинет
Подробное описание документа
Статья в журнале
Титушкин А. В.
Верификация результатов расчета магнитных полей в магнетронной распылительной системе / Титушкин А. В. - DOI 10.18698/2541-8009-2017-7-132 // Политехнический молодежный журнал МГТУ им. Н. Э. Баумана. - 2017. - № 7. -
Произведено сопоставление результатов прямых стендовых измерений топологии и величины магнитного поля в магнетронной распылительной системе на постоянных магнитах с мишенью диаметром 50 мм с результатами моделирования, полученными при помощи программы конечно-элементного анализа. Показано, что результаты измерений и расчета хорошо согласуются.
