Личный кабинет
Подробное описание документа
Краснов Д. И.
Расчет дифракционного корректора для контроля поверхностей свободной формы / Краснов Д. И. - DOI 10.18698/2541-8009-2022-8-819 // Политехнический молодежный журнал МГТУ им. Н. Э. Баумана. - 2022. - № 8. -
Выполнен обзор автоколлимационной измерительной ветви интерферометра для контроля поверхностей свободной формы с использованием дифракционного оптического элемента в качестве корректора волнового фронта. Разработаны и адаптированы алгоритм расчета фазового профиля дифракционного оптического элемента и алгоритм определения координат его зон, необходимых для изготовления. В качестве примера проведен расчет дифракционного элемента для контроля зеркала свободной формы, деформация которого описана с помощью суммы полиномов Цернике. Предложенный метод контроля позволяет проводить аттестацию любых вогнутых поверхностей, а при использовании вспомогательных элементов — любых выпуклых поверхностей. Для правильной установки корректора в рабочее положение предусмотрены вспомогательные дифракционные элементы на периферии подложки.
