Личный кабинет
Подробное описание документа
Автореферат диссертации
Купцов А. Д.
Разработка и исследование метода уменьшения механических напряжений при формировании оксидных тонкоплёночных покрытий в вакууме : 2.2.3 Технология и оборудование для производства материалов и приборов электронной техники : автореф. дис... ктн / Купцов А. Д. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - Москва, 2026. - 17 с. : рис., табл. - Библиогр.:
