Личный кабинет
Подробное описание документа
Исследование метода подготовки поверхности кремниевых полупроводниковых пластин для диффузионной сварки / Курочкина Ю. А., Юдин А. И., Михеев Р. С., Баклыков Д. А. // Сварка и диагностика : сб. тез. II Всерос. науч.-техн. конф. им. акад. РАН Н. П. Алешина (с междунар. участием), Москва, 22 - 24 апр. 2026 г. / МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2026. -
Рассмотрено влияние различных методов жидкостной химической подготовки на ключевые характеристики поверхности монокристаллического кремния, определяющие качество диффузионной сварки. Проанализированы физико-химические механизмы формирования соединения, выявлены основные требования к поверхности: наноразмерная шероховатость, атомарная чистота и высокая гидрофильность, обеспечиваемая силанольными группами Si-OH. Экспериментально исследовано воздействие комбинаций растворов на чистоту, смачиваемость и шероховатость поверхности. На основе исследования выбрана методика обработки, обеспечивающая необходимые характеристики поверхности для создания высокопрочных и герметичных соединений в микроэлектромеханических системах (МЭМС).
