Личный кабинет
Подробное описание документа
Гоцеридзе Р. М.
Технология гибридных плёночных микросхем : учебное пособие / Гоцеридзе Р. М. ; ред. Бушминский И. П. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 1998. - 40 с. : ил. - Библиогр.
В пособии описаны основные технологические схемы производства гибридных пленочных микросхем на базе процессов термического вакуумного напыления и распыления ионной бомбардировкой, а также метода сеткографической печати элементов пассивной части гибридных микросхем до сборки последних.
Для студентов 3-го и 4-го курса природостроительных специальностей, изучающих раздел "Технология интегральных микросхем" курса "Технология приборостроения".
Может быть использовано при проведении самостоятельных занятий, а также при ввыполнении курсовых работ и дипломных проектов.
