Подробное описание документа

Сафонов А. Н., Шиганов И. Н.
   Лазерная микротехнология (Конспект лекций) : учеб. пособие / Сафонов А. Н., Шиганов И. Н. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана ; ред. Сафонов А. Н. - Москва : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 1999. - 49 с. : ил. - Библиогр.: с.49. - ISBN 5-7038-1447-2.

library.bmstu.ru/Catalog/Details/96963

https://library.bmstu.ru/Catalog/Details…

Рассмотрены основные аспекты применения лазеров и лазерной техники в различных отраслях микроэлектроники. Для студентов старших курсов, изучающих технологию лазерной обработки.