Личный кабинет
Подробное описание документа
Малов И. Е., Шиганов И. Н.
Лазерные технологии в электронном машиностроении: учебное пособие / Малов И. Е., Шиганов И. Н. - Москва : МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2008. -
Дано общее представление о процессах лазерной обработки полупроводников с целью рекристаллизации и отжига, описаны лазерные технологии модифицирования и изменения химического состава поверхностных слоев, напыления и осаждения тонких пленок, процессы лазерного легирования поверхности полупроводников. Также в пособии рассмотрены физико-химические и технологические процессы лазерной обработки пленок и деталей микроэлектроники, дана классификация методов лазерной обработки, рассмотрены методы подгонки параметров элементов микроэлектроники, размерной обработки и маркировки тонких пленок. Для студентов 6-го курса, изучающих дисциплину «Лазерная микротехнология».
