Личный кабинет
Подробное описание документа
Духопельников Д. В.
Магнетронные распылительные системы : учебное пособие: в 2 ч. — Ч. 1 : Устройство, принципы работы, применение / Духопельников Д. В. - Москва : МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2014. -
Рассмотрены устройство, принцип работы и основные характеристики магнетронных распылительных систем (МРС). Изложены физические процессы и особенности работы МРС. Перечислены основные типы и конструктивные схемы МРС. Дан пример конструкции МРС с электромагнитной системой. Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности «Плазменные энергетические установки», а также для аспирантов и инженеров, занимающихся разработкой и конструированием МРС.
