Подробное описание документа

Боброва Ю. С., Цветков Ю. Б.
   Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур : практикум / Боброва Ю. С., Цветков Ю. Б. - Москва : МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2020. - 43 с. - ISBN 978-5-7038-5369-6.

Айбукс

Войти и читать

https://ibooks.ru/products/378421

Рассмотрен процесс фотолитографии. Изложено описание процедур проведения экспериментов по определению разрешающей способности операций фотолитографии и жидкостного травления тонкопленочных медных структур. Представлена методика обработки полученных результатов травления и выявления на их основе бокового подтрава токопроводящих структур и неравномерности тонкопленочного покрытия по площади заготовки. Для студентов, изучающих дисциплины «Технология и оборудование микро- и наноэлектроники», «Процессы и оборудование микротехнологии».