Личный кабинет
Подробное описание документа
Боброва Ю. С., Каменихин А. Т., Литвак Ю. Н.
Оценка погрешности позиционирования прецизионного оборудования : методические указания к выполнению лабораторных работ по дисциплине «основы проектирования и эксплуатации нанотехнологического оборудования» / Боброва Ю. С., Каменихин А. Т., Литвак Ю. Н. - Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана, 2017. -
Рассмотрен технологический процесс изготовления многослойных печатных плат, позволяющий сформулировать требования к качеству выполнения операций, связанных с точным позиционированием инструмента. Приведены сравнительный анализ прецизионных приводов, их состав и ожидаемая точность позиционирования. Для студентов, обучающихся по специальностям «Технология и оборудование микро- и наноэлектроники», «Процессы и оборудование микротехнологии».
