Подробное описание документа
Варламов, П. И. Учебно-методический комплекс по тематическому направлению деятельности ННС «Наноинженерия» : учебное пособие : в 17 книгах / П. И. Варламов, К. А. Елсуков, В. В. Макарчук ; под редакцией В. А. Шахнова. — Москва : МГТУ им. Баумана, [б. г.]. — Книга 2 : Технологические процессы в наноинженерии — 2011. — 176 с. — ISBN 978-5-7038-3493-0.
Методические материалы по дисциплине «Технологические процессы в наноинженерии» содержат нормативную базу дисциплины, рекомендации по организации и проведению лекций, практических занятий, семинаров, лабораторных работ и деловых игр, перечень учебных видео- и аудиоматериалов, слайдов, типовых плакатов и другие дидактические материалы для работы профессорско-преподавательского состава по данной дисциплине. Для студентов, аспирантов и преподавателей высших технических учебных заведений по направлению подготовки «Нанотехнология» с профилем подготовки «Наноинженерия». Будет полезен всем, занимающимся вопросами нанотехнологий, наноинженерии, проектированием МЭМС и НЭМС, созданием электронных систем различного назначения.
