Личный кабинет
Подробное описание документа
Александрова, О. А. Введение в технологию материалов микроэлектроники. В 3 частях. Часть 2. Основы технологий разделения и очистки / О. А. Александрова, А. О. Лебедев, Е. В. Мараева. — Санкт-Петербург : Лань, 2023. — 216 с. — ISBN 978-5-507-45480-8.
Рассмотрены основные методы получения чистых и особо чистых материалов, используемых в технике и современной электронике. Приведены примеры практического использования методик очистки и особо чистых веществ в современной промышленности. Предназначено для студентов бакалавриата, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Нанотехнологии и микросистемная техника».
