Подробное описание документа
Шахно, Е. А. Аналитические методы расчета лазерных микро– и нанотехнологий / Е. А. Шахно. — Санкт-Петербург : НИУ ИТМО, 2009. — 77 с.
Шахно, Е. А. Аналитические методы расчета лазерных микро– и нанотехнологий / Е. А. Шахно. — Санкт-Петербург : НИУ ИТМО, 2009. — 77 с.