Личный кабинет
Подробное описание документа
Вейко, В. П. Лазерные микро– и нанотехнологии в микроэлектронике : учебное пособие / В. П. Вейко. — Санкт-Петербург : НИУ ИТМО, 2011. — 141 с.
Для бакалавров и магистров направлений 200500 «Лазерная техника и лазерные технологии, 200200 «Оптотехника», 223200 «Техническая физика», 200700 «Фотоника и оптоинформати-ка», 200100 «Приборостроение», а также для студентов специ-альностей 200201 «Лазерна
