Подробное описание документа
Введение в микроэлектронику : учебное пособие / Ю. А. Гатчин, В. Л. Ткалич, А. С. Виволанцев, Е. А. Дудников. — Санкт-Петербург : НИУ ИТМО, 2010. — 114 с.
В учебном пособии рассмотрены физические основы микро- электроники, интегральные схемы и их технологии производства.
