Подробное описание документа

Малов, И. Е. Лазеры в микроэлектронике : учебное пособие / И. Е. Малов, И. Н. Шиганов. — Москва : МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2012. — 73 с.

Лань

Войти и читать

https://e.lanbook.com/book/52373

Учебное пособие состоит из четырех разделов, посвященных ла- зерной обработке материалов, используемых в микроэлектронике. Рассмотрены такие часто используемые процессы, как обработка по- лупроводников и отжиг имплантированных слоев в полупроводниках, перекристаллизация и стабилизация параметров тонких слоев в по- лупроводниках, модифицирование и изменение химического соста- ва поверхностных слоев путем лазерного напыления тонких пленок, осаждение пленок из газовой фазы и растворов. Большое внимание уделено вопросам обработки тонких пленок в виде лазерной подгонки пленочных резисторов, конденсаторов во- просам лазерной литографии, записи информации. Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности «Машины и технология высокоэффективных процессов обработки материалов».