Личный кабинет
Подробное описание документа
Бычков, С. П. Физические основы микро- и нанотехнологий : учебное пособие / С. П. Бычков. — Москва : МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2009. — 176 с. — ISBN 978-5-7038-3319-3.
Даны краткие сведения из отдельных разделов физики и смеж- ных наук, составляющих физические основы микро- и нанотехноло- гий. Рассмотрены основные законы, понятия и определения физичес- ких явлений, процессов и сред, являющихся основой этих техноло- гий. Приведены методы преобразования фундаментальных физичес- ких законов в прикладные технологические зависимости, расчеты фи- зических закономерностей, определяющих параметры процессов микро- и нанотехнологий. Для студентов 3-го и 4-го курсов, обучающихся по специально- сти «Электронное машиностроение».
