Личный кабинет
Подробное описание документа
Конструирование и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии : учебник для среднего профессионального образования / А. С. Сигов, В. И. Иванов, П. А. Лучников, А. П. Суржиков. — Москва : Издательство Юрайт, 2025. — 270 с. — (Профессиональное образование). — ISBN 978-5-534-19786-0.
В книге рассматриваются технологические процессы в производстве элементов и устройств радиоэлектронной аппаратуры (РЭА) — электронных проборов, полупроводниковых и гибридных микросхем, микроэлектромеханических систем, антенных устройств, функциональных и защитных покрытий и других, где в качестве основного инструмента используются ионно-плазменные потоки и пучки ускоренных ионов. Рассмотрено технологическое оборудование и оснастка, включая генерирование, ускорение и управление потоками ионов.
