Подробное описание документа

И. А. Сысоев, Л. С. Лунин.
   Градиентная эпитаксия для получения микро- и наноструктур твердых растворов А^IIIВ^V через тонкую газовую зону / И. А. Сысоев, Л. С. Лунин ; Северо-Кавказский федеральный университет. - Ставрополь : Северо-Кавказский Федеральный университет (СКФУ), 2015. - 97 с. - ISBN 978-5-9296-0785-1.

Университетская библиотека онлайн

Войти и читать

https://biblioclub.ru/index.php?page=boo…

В монографии представлены физико-химические основы градиентной эпитаксии (ГЭ) в газовой фазе через тонкую зону применительно к многокомпонентным соединениям А^IIIВV. Приводится мето-дика и алгоритм расчета по закономерностям роста эпитаксиальных слоев для многокомпонентных твердых растворов соединений А^IIIВV. Обсуждаются возможности получения различных микро- и нано-структур соединений АIIIВV с помощью ГЭ через газовую зону. Рассмотрено влияние различных технологических параметров (температура, температурный градиент, толщина зазора между источником и подложкой и т. д.) на свойства получаемых гетероструктур.Монография адресована магистрам, асптирантам и преподавателям, а также исследователям, работающими в области технологии полупроводниковых материалов соединений А3В5 с микро- и нано-структурой.