Подробное описание документа
В. Н. Игумнов
Толстопленочные элементы электроники и микроэлектроники / В. Н. Игумнов ; Поволжский государственный технологический университет. - Йошкар-Ола : Поволжский государственный технологический университет, 2015. -
Рассмотрены актуальные вопросы пленочной электроники - материалы, конструкции и технологии изготовления проводниковых, сверхпроводниковых и прочих толстопленочных элементов. Особое внимание уделено их электроискровой и тепловой обработке, а также использованию толстопленочных элементов в различных областях электроники.Для инженеров, исследователей, научных работников, аспирантов и магистрантов, специализирующихся в области пленочной электроники, а также смежных областях.
