Личный кабинет
Подробное описание документа
А. И. Мусин
Угловые и энергетические распределения атомов Ni, распыленных из грани (001): выпускная квалификационная работа (магистерская диссертация) : студенческая научная работа / А. И. Мусин ; учред. Московский государственный университет им. М. В. Ломоносова, Физический факультет, Кафедра физической электроники. - Москва : б. и., 2018. -
Ионное распыление было открыто в 1852 году В.Р. Гроувом. Вначале некоторые исследователи это явление называли “электрическим испарением”, так как в газоразрядных трубках металлические электроды “испарялись” при температурах, которые были значительно ниже достаточной для этого. В дальнейшем за процессом разрушения и распыления металлов в газоразрядных трубках укрепилось название “катодное распыление”, поскольку на стенках трубок оседал в основном материал катода.Распыление происходит из-за бомбардировки поверхности кристалла ускоренными ионами. В результате столкновений некоторые поверхностные атомы приобретают энергию, достаточную для вылета из потенциальной ямы, создаваемой остальными атомами.
