Подробное описание документа
Е. В. Ильичев, Б. И. Иванов
Микро- и нанотехнологии : учебно-методическое пособие / Е. В. Ильичев, Б. И. Иванов ; Новосибирский государственный технический университет. - Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет, 2018. -
Пособие включает в себя краткие основные сведения о физических эффектах в сверхпроводниках, справочный материал, задачи и примеры их решения. Основная цель настоящего пособия – дать краткую и необходимую информацию для закрепления материала в рамках курса Микро- и нанотехнологии. Предназначено для магистрантов факультета радиотехники и электроники, направление 11.03.03 «Конструирование и технология электронных средств».
