Подробное описание документа
Д. Е. Шашин, Е. М. Цветкова, А. Г. Разина
Исследование параметров пассивных тонкопленочных элементов : практикум / Д. Е. Шашин, Е. М. Цветкова, А. Г. Разина ; Поволжский государственный технологический университет. - Йошкар-Ола : Поволжский государственный технологический университет, 2021. -
Представлены теоретические сведения, охватывающие современные методы исследования параметров пассивных тонкопленочных элементов. Приведены методические рекомендации по выполнению лабораторных работ по дисциплине «Проектирование интегральных микросхем».Для студентов, обучающихся по направлениям подготовки 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника», 11.04.02 «Информационные технологии и системы связи», 21.10.00 «Конструирование и технология электронных средств». Издание может быть полезно также для студентов, обучающихся по направлениям подготовки 12.03.04 «Биотехнические системы и технологии», 11.04.01 «Радиотехника», 27.03.04 «Управление в технических системах».
