Личный кабинет
Подробное описание документа
Д. Е. Шашин
Вакуумные тонкопленочные технологии в приборостроении: лабораторный практикум : практикум / Д. Е. Шашин ; Поволжский государственный технологический университет. - Йошкар-Ола : Поволжский государственный технологический университет, 2022. -
Представлены теоретические сведения, охватывающие современные вакуумные технологии изготовления тонких пленок для применения в приборостроении. Приведены методические рекомендации по выполнению лабораторных работ.Для студентов, обучающихся по направлениям подготовки 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника», 12.03.01 «Приборостроение», 11.03.03 «Конструирование и технология электронных средств». Издание может быть полезно также для студентов, обучающихся по направлениям подготовки 12.03.04 «Биотехнические системы и технологии», 11.04.01 «Радиотехника», 27.03.04 «Управление в технических системах».
