Личный кабинет
Подробное описание документа
А. А. Атаманчук
Исследование и разработка технологического процесса электронно-лучевой финишной обработки подложек карбида кремния для силовой электроники : студенческая научная работа / А. А. Атаманчук ; Южный федеральный университет. - Таганрог : б. и., 2023. -
Выпускная квалификационная работа бакалавра содержит 85 страниц, 31 рисунок, 3 таблицы, 70 источников. В данной работе представлены исследование и разработка финишной полировки пластин карбида кремния с помощью электронного луча для силовой электроники. Был проведён обзор и анализ отечественной и зарубежной литературы по современным методам подготовки, в частности полировки пластин карбида кремния. Исследовано влияние термической модификации с помощью электронного луча поверхности образцов карбида кремния и её воздействие на шероховатость поверхности. Предложена технология электронно-лучевой финишной полировки пластин SiC. Были проведены исследования оптических характеристик образцов SiC с помощью эллипсометрического метода. Определена и исследована шероховатость образцов SiC до и после электронно-лучевой обработки при помощи АСМ.
