Подробное описание документа
Е. И. Жемеров
Влияние пористости на структурные и сегнетоэлектричесю свойства пленок ЦТС : студенческая научная работа / Е. И. Жемеров. - Б. м. : б. и., 2023. -
Актуальность предлагаемого исследования обусловлена необходимостью увеличения толщины сегнетоэлектрических структур, которые являются неотъемлемой частью многофункциональных МЭМС устройств. Количество работ, связанных с поиском эффективного способа утолщение сегнетоэлектрических пленок, растет. Одним из самых многообещающих методов является добавление пористости. Однако, увеличение пористости приводит к изменению структурных характеристик создаваемого образца, что в свою очередь вносит вклад в изменение пьезоэлектрических свойств материала.
