Личный кабинет
Подробное описание документа
Е. А. Лахина
Разработка технологии наноразмерного структурирования поверхности GаАs(001) на основе метода локального капельного травления : студенческая научная работа / Е. А. Лахина ; Южный федеральный университет. - Таганрог : б. и., 2024. -
В рамках выполняемой квалификационной работы представлены результаты экспериментальных исследований процессов наноразмерного структурирования поверхностей GaAs с помощью метода локального капельного травления для дальнейшего образования центров зарождения квантовых точек А3В5. В ходе экспериментальных исследований были установлены закономерности влияния режимов локального капельного травления на морфологические характеристики обрабатываемой поверхности. По результатам проведенных исследований разработан технологический маршрут изготовления эпитаксиальной гетероструктуры с наноструктурированной поверхностью GaAs(001) для однофотонного излучателя.
