Подробное описание документа
Е. Ю. Глушец
Создание безлитографических металлических масок для химического травления: выпускная квалификационная работа : студенческая научная работа / Е. Ю. Глушец ; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. - Санкт-Петербург : б. и., 2025. -
