Личный кабинет
Подробное описание документа
Е. Э. Бодров
Основы технологии электронной компонентной базы : учебное пособие / Е. Э. Бодров. - Москва, Вологда : Инфра-Инженерия, 2022. -
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль процесса производства.Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».
