Личный кабинет
Подробное описание документа
В. И. Смирнов
Технология интегральных микросхем : учебное пособие / В. И. Смирнов. - Москва, Вологда : Инфра-Инженерия, 2023. -
Изложены вопросы технологии производства интегральных микросхем. Основное внимание уделено вопросам формирования структуры полупроводниковых микросхем. Рассмотрена технология получения тонких пленок в гибридных интегральных схемах.Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.03 «Конструирование и технология электронных средств», профиль «Конструирование и технология электронных средств».
