Подробное описание документа
Андреев В. В.
Технологические процессы микроэлектроники : Методические указания к проведению лабораторных работ / В. В. Андреев, В. В. Кашин, М. М. Ежова. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2014. - 56 с. -
24 экз.![]()
Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов
- Абонемент 1-2 курсов, ул. Университетский Городок, 1, УАК 3, ауд. ауд. 2.16
- Абонемент 3-6 курсов, ул. Университетский Городок, 1, УАК 3, ауд. ауд. 2.17
- Читальный зал, ул. Университетский Городок, 1, УАК 3, ауд. ауд. 2.15
Похожие издания
Андреев В. В., Кашин В. В., Ежова М. М.
Технологические процессы микроэлектроники : методические указания / Андреев В. В., Кашин В. В., Ежова М. М. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2014. - 54 с. : ил. - Библиогр.:с. 52 . - ISBN 978-5-7038-3892-1 .
Технологические процессы микроэлектроники : методические указания / Андреев В. В., Кашин В. В., Ежова М. М. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2014. - 54 с. : ил. - Библиогр.: